公司拥有卷绕控制系统,模块化设计,倾斜式箱体设计,PEM气体控制系统,新型中频圆柱旋转阴极,线形离子源,磁悬浮导向,二进制多段布气,集成式生产线水冷系统等20余项先进工艺和核心技术,将各种创新技术应用于生产线实践,并在实践中发掘新的创新点,共同推进工艺和设备的不断更新和进步。
?倾斜式箱体设计实现了基片在装卸过程中无夹具印,解决了大型超薄基片装夹过程中的扭曲问题。...
?缩短维护时间,提高生产效率。...
?无水电引入系统的新型插板阀,减少故障发生率,提高生产效率。...
?从工厂现场自动化设备中采集实时运行状态、运行参数、加工信息和质量信息,并传输到监控终端分解成用户所需要的报表、图表和可视化界面形式显示,使生产管理人员能及时监控生...
?通过等离子体发射光谱监测来控制气体流量和电压,控制优化反应溅射的状态,从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。...